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在排气口处新增密封结构的单向阀

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工艺要求达到的真空度

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100pa(压力)的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

2、工艺要求的抽气量(抽气速率)

真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下，排出气体、液体，固体的能力)，一般单位：m3/h，L/S,m3/min。具体计算方法可以参考下面公式自行计算选型。当然，真空泵的选型是一个综合过程，涉及到相关经验等因素。

真空泵是的真空装备、从产生真空原理上分为：容积式真空泵（如液环泵，螺杆泵，罗茨泵等）；动量传递式真空泵（如分子泵：喷射真空泵:扩散泵均属于此类）；气体捕集式真空泵（如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）

按照国标：GB/T 3163-97《真空技术名词术语》具体分类如下：

动量传递式真空泵:

利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。

分子泵：牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。

分子真空泵（分子泵）是1913年德国人盖德1（W. Gaede）发明的，之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象，也就是分子牵引力，所以称为牵引分子泵。